“纳米级精测工业应用”的领航者

陈庚亮，2017年5月回国，进入深圳虚拟大学园从事博士后研究工作，主要从事微纳米尺度精测设备研究。2018年联合创立深圳明锐仪器有限公司，致力于先进制造业、半导体、显示面板等领域的纳米尺度高精度测量与超高灵敏度传感技术研发与应用。陈庚亮博士及其团队所研究的核心技术是以扫描原子力探针技术为基础的纳米测量系统。纳米测量包括具有纳米尺度分辨力的三维几何形貌、粗燥度、多层膜厚，以及局域力学、电学性能等参量。这些参量的实时监控既可以对先进制造业产线在制造前端和后端进行质量监控，又可对生产工艺进行优化，从而通过实时监测生产工艺提高产线良率。研究团队以多功能纳米尺度的精密测量为目标，为科研团队提供多功能的精测解决方案。包括用户自定义的高端原子力显微镜、高真空原子力显微镜、3D断层原子力显微镜、扫描微波显微镜等，实现高分辨形貌、力学、电学和近场光谱测量等各种材料性能在纳米尺度的关联成像。目前所研发的高真空原子力显微镜的噪声达到国际领先水平。作为拥有先进制造行业的“卡脖子”核心技术团队，同时发展了大尺度复杂结构的精密测量技术，把关键核心技术掌握在自己手里，目前团队研发的精测设备可用于G6代显示面板前端工艺的精测。团队将努力建成为国际领先、并具有核心技术优势的“纳米级精测工业应用”的领航者。通过核心产品的应用推广，提升国产高端科研仪器的国际地位，赋能高端制造业。